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1、一种氧化铈颗粒及含其的抛光浆料2、CMP浆料组成物和使用其抛光图案化钨晶片的方法3、双粒径非球形二氧化硅、制备方法及其制备的抛光浆料4、碳磨料和抛光浆料以及制造半导体器件的方法...
001 含固体催化剂的CMP淤浆002 制造存储器硬盘用的抛光组合物和抛光方法003 用于低介电常数材料的氧化抛光淤浆004 抛光组合物和抛光方法005 抛光浆料006 用于研磨的...