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本发明涉及传感器领域,特别涉及一种双空腔压力计芯片以及其制造方法。所述压力计芯片包括相互键合的盖板、基板以及底板;盖板底面形成有凹陷部,盖板凹陷部与基板形成上空腔;基板底面形成有凹...
1 C085103520 空气透过测试法及其测试仪2 C125103454 橡胶管压力计3 C105101372 半导体压力计4 C126101454 固阻试井压力计5 C1051...
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