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| 用于提高电子器件中电子发射的阳极氧化工艺 |
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| 用于提高电子器件中电子发射的阳极氧化工艺 |
| 简介： |
提出了一种用于在半导电或导电表面(114)的中心区域中形成孔的方法。此方法包括在衬底(112)上形成半导电或导电表面(114)。此半导电或导电表面(114)的形成确保了当在半导电或导电表面(114)上施加电场时，表面中心区域的电场强度至少与表面的周界上的电场强度一样大。最后，此方法包括通过在半导电或导电表面(114)上产生电场来对半导电或导电表面(114)进行阳极氧化，以在半导电或导电表面(114)内形成多孔区。 |
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| 全文：详细说明书附图共18页 | | |
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