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磁控溅射方法相关专利技术资料

时间:2022/11/25 9:39:04 点击:

  核心提示:1、磁控溅射方法制备碳化硅薄膜工艺2、一种磁控溅射方法3、磁控溅射装置及磁控溅射方法4、一种磁控溅射方法5、磁控溅射装置和磁控溅射方法6、物理气相沉积设备及磁控溅射方法7、物理气相沉积设备及磁控溅射方...
1、磁控溅射方法制备碳化硅薄膜工艺
2、一种磁控溅射方法
3、磁控溅射装置及磁控溅射方法
4、一种磁控溅射方法
5、磁控溅射装置和磁控溅射方法
6、物理气相沉积设备及磁控溅射方法
7、物理气相沉积设备及磁控溅射方法
8、一种制备InN薄膜的磁控溅射方法
9、磁控溅射装置和磁控溅射方法
10、磁控溅射装置以及磁控溅射方法
11、一种磁控溅射设备及磁控溅射方法
12、沉积薄膜的磁控溅射方法
13、磁控溅射设备及磁控溅射方法
14、一种高功率双极脉冲磁控溅射方法
15、磁控溅射装置及磁控溅射方法
16、磁控溅射装置及磁控溅射方法
17、磁控溅射装置及磁控溅射方法
18、一种磁控溅射装置及磁控溅射方法
19、磁控溅射装置、设备及磁控溅射方法
20、一种铜触点表面镀银的磁控溅射方法
21、一种两段式脉冲磁控溅射方法
22、一种BGA封装电子产品的磁控溅射方法
23、一种双极脉冲磁控溅射方法
24、磁控溅射装置以及磁控溅射方法
25、一种BGA产品的磁控溅射方法
26、一种高频振荡脉冲磁控溅射方法
27、一种双向镀膜磁控溅射方法
28、磁控溅射装置以及磁控溅射方法
29、用于铁氧体加工的磁控溅射方法
30、磁控溅射装置和磁控溅射方法
31、磁控溅射装置及磁控溅射方法
32、一种等离子体增强非平衡磁控溅射方法
33、一种磁镜场约束双靶非平衡磁控溅射方法
34、磁控源和磁控溅射设备、以及磁控溅射方法
35、一种应用于半导体铜互连工艺的磁控溅射方法
36、一种钽溅射靶材、制备方法和磁控溅射方法
37、封装产品的磁控溅射方法
38、多段式双极性脉冲高功率脉冲磁控溅射方法
39、用于提高非晶材料无序性的间歇磁控溅射方法

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