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1、双面超导量子芯片2、一种超导量子芯片串扰残余验证方法
3、一种超导量子芯片串扰矩阵测量方法
4、一种含铌膜的超导量子芯片刻蚀方法
5、超导量子芯片
6、一种超导量子芯片结构
7、超导量子芯片及其制备方法和应用
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