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  • 机械抛光液制备方法,机械抛光液生产工艺技术专利 2023-05-12 点击:174
  • 1、一种化学机械抛光液2、化学机械抛光液3、多晶硅化学机械抛光液4、一种化学机械抛光液5、一种低污染机械抛光液6、化学机械抛光液7、一种硅化学机械抛光液8、化学机械抛光液及其用途1...
  • 锡合金分离提纯方法工艺技术专利 2023-03-30 点击:350
  • 1、从铟锡合金中提纯铟的方法2、一种真空连续结晶分离提纯回收铝锡合金的设备及方法3、一种利用硅锡合金提纯多晶硅的方法4、一种真空蒸馏提纯粗锡合金的方法6、一种金锡合金废料的分离回收...
  • 砂浆回收工艺,砂浆回收方法,砂浆回收利用技术 2022-08-05 点击:90
  • 1、单晶与多晶硅线切割用砂浆回收技术2、硅片切割废砂浆回收循环利用方法3、一种砂浆回收中的固液分离方法4、一种硅片切割废砂浆回收方法5、一种砂浆回收工艺6、一种硅切割废砂浆回收利用...
  • 去除硅残留方法及消除硅残留工艺技术方法 2022-02-16 点击:626
  • 1、去除多晶硅残留的方法2、去除多晶硅残留的方法3、从MEMS空腔底部消除硅残留物4、一种DMOS产品碗口处多晶硅残留的处理方法5、一种检测多晶硅残留的测试结构6、多晶硅残留监测结...
  • 太阳能冶炼多晶硅制造方法 多晶硅生产工艺技术 2021-11-08 点击:448
  • 1、轻掺杂漏极结构的低温多晶硅薄膜晶体管及其制作方法2、用三氯氢硅和四氯化硅混合源生产多晶硅的方法3、在半导体制作过程中通过氘以形成多晶硅层的方法4、蚀刻多晶硅层以形成多晶硅闸极的...
  • 存储器件的制作方法 2021-10-15 点击:55
  • 一种存储器件的制作方法,包括:在栅氧层上形成控制栅多晶硅层,栅氧层形成于衬底上,衬底的有源区的周侧形成有环绕的STI结构;在控制栅多晶硅层上形成ONO;在所述ONO上形成浮栅多晶硅...
  • 黑硅制绒加工工艺生产技术专利处理方法 2021-09-26 点击:310
  • 1 一种循环利用电解液溶液的黑硅制绒工艺2 一种黑硅制绒片的清洗方法3 多晶硅片制绒液、黑硅材料的制备方法及其在加速PERC电池LeTID恢复中的应用4 一种稳定性高的多晶湿法黑硅...
  • 金属栅生产工艺技术专利 金属栅制造方法 2021-09-19 点击:79
  • 1、集成高K金属栅极和氧化物多晶硅栅极的结构和制备方法2、金属栅的制造方法3、激光原位开膜的太阳电池金属栅极喷印成形方法及装置4、金属栅的制造方法5、集成高K金属栅极和氧化物多晶硅...
  • HKMG结构制作方法 2021-09-16 点击:227
  • 一种HKMG结构制作方法,包括以下步骤:优化在衬底上的N型金属栅区域和P型金属栅区域形成顺序,依次形成栅氧化层、高K介质层、可选过渡层、P型功函数刻蚀停止层、P型功函数层和伪多晶硅...
  • 晶硅切割液配方技术及制备方法 2021-06-30 点击:188
  • 1、晶硅切割液及其制备方法和应用2、一种高润滑性多晶硅切片用水基切割液及其制备方法3、晶硅片切割液脱色用活性炭回收处理方法4、太阳能光伏电池用晶硅切割液5、一种从晶硅线切割废砂浆中...
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