您现在的位置:首页 >> 单项专利 >> 内容

一种用于减少寄生电容的FinFET的空气侧墙制作方法

时间:2021/9/16 12:07:02 点击:

  核心提示:一种用于减少寄生电容的FinFET的空气侧墙制作方法,位于基底上的源区外延区和漏区外延区;栅极结构包括:金属栅;包围金属栅侧壁和底部的功函数层;依附于功函数层侧壁的内侧墙;依附于内侧墙侧壁的SiN侧墙...
一种用于减少寄生电容的FinFET的空气侧墙制作方法,位于基底上的源区外延区和漏区外延区;栅极结构包括:金属栅;包围金属栅侧壁和底部的功函数层;依附于功函数层侧壁的内侧墙;依附于内侧墙侧壁的SiN侧墙;栅极结构的SiN侧墙的侧壁形成有外侧墙;基底上形成有覆盖栅极结构的层间介质层;对栅极结构进行纵向回刻,去除栅极结构的部分,形成凹槽;去除SiN侧墙在凹槽的位置形成栓塞,使得在栅极结构的两侧去除SiN侧墙的位置形成空气侧墙。本发明在FinFET的制作过程中,在栅极侧墙位置形成空气侧墙以降低寄生电容。由于空气的介电常数比低K介质层和SiN小很多,有利于降低栅与接触孔之间的电容以及栅与源漏外延之间的寄生电容。

以上没写价格的,全套专利技术资料仅需260元至3980元,具体联系我们!
联系电话:0575-86879949 手机:13967599949  QQ:12234598 谢谢合作!有需要请直接打电话联系每项专利技术资料均为国家正式专利全文说明书。含技术配方、加工工艺、权利要求书、说明书或附图等说明:我们只是提供专利原文查询业务,不销售相关的产品、设备! 请谅解!
 
  • 创业商机网(www.cy173.com) © 2024 版权所有 All Rights Reserved.
  • 小本创业项目创业商机网小投资项目宝来啦创业技术资料生产资料小本创业投资网
    联系方法:浙江省新昌县大市聚镇工商所斜对面 邮编:312500
    联系电话: +86-0575-86879949 13967599949 点击这里给我发消息 客服QQ:12234598
    浙公安备案号:33062402000007
    浙ICP备08001054号-2